二氧化硅薄膜一種無(wú)定形玻璃 狀結(jié)構(gòu)的電解質(zhì)膜，具有良好的硬度、光學(xué)、介電性質(zhì)及耐磨、抗蝕等特性,在光學(xué)、微電子等領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用前景,是目前國(guó)際上廣泛關(guān)注的功能材料。

二氧化硅薄膜的制備方法有5種：
1.化學(xué)氣相淀積法

化學(xué)氣相淀積是利用化學(xué)反應(yīng)的方式，在反應(yīng)室內(nèi)，將反應(yīng)物（通常是氣體）生成固態(tài)生成物，并淀積在硅片表面是的一種薄膜淀積技術(shù)。因?yàn)樗婕盎瘜W(xué)反應(yīng)，所以又稱(chēng)CVD。

2.物理氣相淀積

物理氣相沉積主要分為蒸發(fā)鍍膜、離子鍍膜和濺射鍍膜三大類(lèi)。其中真空蒸發(fā)鍍膜技術(shù)出現(xiàn)較早,但此法沉積的膜與基體的結(jié)合力不強(qiáng)。
3.熱氧化法

熱氧化法又分為干氧氧化、濕氧氧化、水汽氧化3種。
4.溶膠凝膠法

溶膠凝膠法是一種低溫合成材料的方法,硅酸乙酯在酸性條件下水解可以得到“玻璃狀透明的”SiO2材料,在黏性的凝膠中可制備出纖維及光學(xué)透鏡片。這種方法的制作費(fèi)用低、鍍膜簡(jiǎn)單、便于大面積采用、且光學(xué)性能好,適用于立體器件。通常,多孔SiO2薄膜的特性依賴(lài)溶膠凝膠的制備條件、控制實(shí)驗(yàn)條件(如溶膠組分、pH值、老化溫度及時(shí)間、回流等)，可獲得折射率在1.009～1.440、連續(xù)可調(diào)、結(jié)構(gòu)可控的SiO2納米網(wǎng)絡(luò)。
5.液相沉積法

在化學(xué)沉積法中.使用溶液的濕化學(xué)法因需要能量較小，對(duì)環(huán)境影響較小，被稱(chēng)為sof t2p rocess柔性過(guò)程)。近年來(lái)在濕化學(xué)法中發(fā)展起一種液相沉積法(LPD)，SiO2薄膜是用LPD法最早制備成功的氧化物薄膜。通常使用H2SiF6的水溶液為反應(yīng)液，在溶液中溶入過(guò)飽和的Sio 2(以SiO 2、硅膠或硅酸的形式),溶液中的反應(yīng)為:H2SiF6+ 2H2o SiO 2+6HF。目前可在相當(dāng)?shù)偷臏囟?～40°C)成功地在GaA s基底上生長(zhǎng)SiO 2薄膜，其折射率約為1.423。PLD成膜過(guò)程不需熱處理，不需昂貴的設(shè)備，操作簡(jiǎn)單，可以在形狀復(fù)雜的基片上制膜，使用廣泛。

SiO2具有硬度高、耐磨性好、絕熱性好、光透過(guò)率高、抗侵蝕能力強(qiáng)以及良好的介電性質(zhì)。通過(guò)對(duì)各種制備方法、制備工藝的開(kāi)發(fā)和不同組分配比對(duì)二氧化硅薄膜的影響研究,制備具有優(yōu)良性能的透明二氧化硅薄膜的工作已經(jīng)取得了很大進(jìn)展。薄膜在諸多領(lǐng)域得到了很好的應(yīng)用,如用于電子器件和集成器件、光學(xué)薄膜器件等相關(guān)器件中。利用納米二氧化硅的多孔性質(zhì)可應(yīng)用于過(guò)濾薄膜、薄膜反應(yīng)和相關(guān)的吸收劑以及分離技術(shù)、分子工程和生物工程等,從而在光催化、微電子和透明絕熱等領(lǐng)域具有很好的應(yīng)用前景。

SiO2/Au中孔復(fù)合微球納米金催化劑
5CeNi/m-SiO2催化劑
Ag-SiO2復(fù)合納米顆粒薄膜
Al2O3-SiO2-ZrO2復(fù)合薄膜
CaO-SiO2-PAA復(fù)合膜材料
CO-NH-SiO2鈦基多孔薄膜
DMDES-SiO2二甲基二乙氧基硅烷多孔改性薄膜
EP-SiO2復(fù)合薄膜
Eu-Al-sio2納米多孔發(fā)光薄膜
Fe-SiO2固體酸催化劑
Ge-SiO2鍺摻雜的微孔薄膜
HMDS-SiO2六甲基二硅氮烷多孔改性薄膜
LiCl/SiO2多孔薄膜
LPCvD-TEOS-SiO2薄膜
MoO3/SiO2催化劑
ni-sf-sic催化劑
Pd/SiO2-BT負(fù)載型納米催化劑
PI-SiO2摻雜聚酰亞胺的納米多孔薄膜
P-TiO2-SiO2 多孔催化劑
sio2/tio2-xcx/c多孔可見(jiàn)光響應(yīng)型光催化劑
SiO2@FcCOCH32薄膜
SiO2-CaO多孔復(fù)合薄膜
SiO2-PEI薄膜
SiO2修飾的ZnO納米多孔薄膜
Si-SiO2硅基多孔薄膜
TEOS-SiO2薄層
TiO2-SiO2-HAP活性薄膜
TMCS-SiO2三甲基氯硅烷修飾納米多孔改性薄膜
V2O5-K2SO4/A12O3-SiO2纖維復(fù)合催化劑
V2O5-WO3/TiO2-SiO2催化劑
ZnCl2-Si02固體酸催化劑
Zn—SiO2/TiO2多孔復(fù)合薄膜
Zn-SiO2/TiO2鋅摻雜多孔復(fù)合薄膜

光催化超親水性TiO2-SiO2薄膜

硅基多孔納米β-SiC薄膜
納米多孔材料-聚硅氧烷復(fù)合膜